西安某半导体材料存储芯片制造出厂，晶圆生产制作时候中带来含硅、氟的特殊性污水，开发治理 产值1200吨/日。污水有效成分繁复，包含奈米级硅颗料及氢佛酸，传统文化治理 的方法很难不合格。 废液部分及源 主耍影响物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度分布）、氟化合物（200-300mg/L）、异丙醇 收入加工过程 ：晶圆刻蚀废气处理工艺（45%）、CMP物理机械厂增加光泽废气处理工艺（40%）、设备情况呢水（15%） 处里鑫霖环保流量 多元化选择"化学物质乳浊液+持种膜分割"技术性自驾路线： 钙盐石雕文化沉淀 ：添加氯化钙清除氟铝离子（形成CaF2积累） 水解酸化池反响 ：复合材料斜板沉淀池剂达成固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜截流微细粉末 反融合软件 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 蒸发掉心得 ：浓水段实现了氟化物0排放量 结果效用 氟化物渗透压：<8mg/L（不超过发展中国家6级规定10mg/L） 硅水分含量：<5mg/L 水材料工业废水处理率：70%应用于急冷塔补充水分 垃圾回收利用：多效蒸发沉渣量较常用技术提高60%