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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为85英寸晶圆生产的线设施的超去离子水系统性,每周存在含硅焦化废水150吨。焦化废泥里虽无高价属,但硅含氧量高易水垢,且内阻率需达到18MΩ·cm能够造纸废水加工处理。原始加工处理工学院艺难以满足需要新颁行的《电子无线工业化水污染源物排出准则》(GB39731-2020)格外排出标准值。 废气物质结构特征 主要环保问题物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm) 独特规范 :TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L 水的质量功能 :低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物底部形态僵化 治理施工工艺施工工艺 转型升级主要包括"梯级膜离心分离+电去化合物"组和加工制作工艺 : 微滤预净化处理 :1μm卫浴陶瓷膜手机拦截大科粒硅,通量维系80LMH 阴阳离子互换树酯 :D201大孔不饱和树脂选用性吸附性硅酸原子核 二次元RO整体 :一段回收处理率60%,然后段采取高脱硼膜元器件封装 EDI电去铁离子 :工作电流密度计算公式2A/m²,持续时间祛除的残留物阴离子 红外光谱杀菌的 :254nm太阳中的紫外线线标准容量40mJ/cm² 技術特点 开发建设专门的阻硅剂(有机化学胺类符合物),减缓膜废弃物周期长3倍 EDI传感器企业创新流道制作,硅出掉率增加至99.8% 线硅分享仪(预估面积0.1-500μg/L)保证 脱贫攻坚调整 自动运行实效 经第三步方查重: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼份量从8μg/L低于0.3μg/L 设计收购率从原40%提升自己至68% 膜变更周期长延长时间至5年,年自动运行总成本大大减少35%

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