该厂为85英寸晶圆生产的线设施的超去离子水系统性,每周存在含硅焦化废水150吨。焦化废泥里虽无高价属,但硅含氧量高易水垢,且内阻率需达到18MΩ·cm能够造纸废水加工处理。原始加工处理工学院艺难以满足需要新颁行的《电子无线工业化水污染源物排出准则》(GB39731-2020)格外排出标准值。
废气物质结构特征
主要环保问题物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm)
独特规范
:TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L
水的质量功能
:低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物底部形态僵化
治理施工工艺施工工艺
转型升级主要包括"梯级膜离心分离+电去化合物"组和加工制作工艺 :
微滤预净化处理
:1μm卫浴陶瓷膜手机拦截大科粒硅,通量维系80LMH
阴阳离子互换树酯
:D201大孔不饱和树脂选用性吸附性硅酸原子核
二次元RO整体
:一段回收处理率60%,然后段采取高脱硼膜元器件封装
EDI电去铁离子
:工作电流密度计算公式2A/m²,持续时间祛除的残留物阴离子
红外光谱杀菌的
:254nm太阳中的紫外线线标准容量40mJ/cm²
技術特点
开发建设专门的阻硅剂(有机化学胺类符合物),减缓膜废弃物周期长3倍
EDI传感器企业创新流道制作,硅出掉率增加至99.8%
线硅分享仪(预估面积0.1-500μg/L)保证 脱贫攻坚调整
自动运行实效
经第三步方查重:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼份量从8μg/L低于0.3μg/L
设计收购率从原40%提升自己至68%
膜变更周期长延长时间至5年,年自动运行总成本大大减少35%