该典例位于苏北省份开家超大型半导体技术存在公司单位，核心制作集成型电源线路存储芯片。在制作的过程 中，晶圆的洗涤、蚀刻等工艺技术需用到大量的微电子级磷酸（溶解度≥85%），由此可见存在高有机废气浓度含磷废水加工处理工艺。公司单位原本的加工处理基础设施难以提供日益增长要严格的排出要求（TP≤0.5mg/L），急用自动升级整修。 废水处理工艺因素及主要来源 废气主要的原因于这三个方式：晶圆清晰废气（占总需水量60%）、设施清洗废气（30%）及其地坪清洗废气（10%）。地表水结构特征表現为：pH值1.5-2.5，总磷有机废气浓度800-1200mg/L，氟化合物纯度50-80mg/L，COD约200-300mg/L，并包含微量分析高价属（铜、锌等）。 进行处理艺程序流程 楼盘采用了"预进行处理+物理沉淀物+高级工程师氧化物+广度过滤程序"的搭档施工工艺： 调结池 ：均等化环境质量需水量，均有pH线上评估系统软件 三级不良反应池 ：加药氧化钙乳调接pH至8.5-9.0，成型Ca3(PO4)2积累 下级反應池 ：修改PAC和PAM强化装备斜板沉淀池感觉 斜板沉垫池 ：实现了固液分离出来，污水进到脱干体统 Fenton防氧化单元尺寸 ：H2O2与Fe²⁺一体化能力光降解生物碳物 多媒介活性炭过滤皿 ：石英砂砂+灵活性炭包搭档过滤程序，抓实冒水澄澈 亚铁离子置换设备 ：进这一步避开残留物金属制铁离子 然后实际效果 机系统开机行驶平衡后，冒水水的硬度：总磷≤0.3mg/L，COD≤30mg/L，氟亚铁离子≤5mg/L，某项指標强于《电子无线工农业水环保问题物尾气摆放标标》（GB 39731-2020）。今年可以减少磷尾气摆放标约15吨，工业废水有量较中国传统施工工艺变低40%，开机行驶费用调控在8.3元/吨水。