该晶圆制做厂座落豫东区域,主耍生產制造8英尺半导晶圆,单日废水处理释股票放量约800吨。在生產制造的过程 中采用大量的盐酸使用晶圆蚀刻,引致废水处理中氟化物氧化还原电位高达独角兽200-300mg/L,远超国释放规则(10mg/L以內)。
废水处理方法部分及来原
废气其主要发源六个关键环节:
晶圆蚀刻环节
:含高氧浓度氟化物(HF)、氯化铵及一些天价属
化学物质机戒打磨(CMP)废水处理
:含nm级硅颗粒物、有机会络合剂
主设备清洁生产废水
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
加工处理加工过程流程步骤
适用"无机化学沉定+混泥土沉定+厚度油烟净化器"三级视频进行处理设备:
考试内容一级治理
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,产生氟化钙沉积,氟化物清除率达85%
二级考试工作
:“添加PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),取除胶体溶液态生态破坏物
二级净化处理
:使用多物料过滤清洁器和几丁质酶炭吸附性,冒水氟化物渗透压稳定性高在8mg/L这
关键点设施是指:pH系統自动调理系統、斜管凝固池、板框带式压滤机(生活污水脱水过滤)。
结果英文效用
工程进行六年监控的数据提示 :
氟化物一般氨水浓度:7.2mg/L(不超过的国家原则)
COD祛除率:92%
飞灰含水分率:≤65%
年二手回收氟化钙副產品约150吨,完成资源性化再生利用